一、用途
二、技术规格
项 目 内 容 放大倍率 15X～30,000X(数字放大：2X、4X) 观察模式 标准模式、减轻荷电模式、大束流分析模式 图像模式 形貌像、成份像、阴影像1、阴影像2、凹凸像 电子光学系统 电子枪 预对中发夹型钨灯丝 加速电压 5kV、15kV 、EDX 透镜系统 3级电磁式透镜会聚系统 电位移 ±50μm (WD=4.5mm、观察条件：标准模式) 能谱分析位置 WD=10mm, TOA=35° 样品台 样品台控制 2轴手动样品台 样品可移动范围 X：±17.5mm、Y：±17.5mm *大样品尺寸 直径70mm *大样品厚度 50mm 检测器 高灵敏4分割半导体背散射电子检测器 真空系统 自动控制系统 全自动气动阀控制系统 *高真空度 1.5×10-5Pa 可变真空度 6~270Pa(22steps) 涡轮分子泵 30L/s 1台 隔膜泵 1m3/h 1台 真空计 1台 自动功能 自动灯丝饱和 已配备 自动电子束设定 已配备 自动电子枪对中 已配备 自动合轴 已配备 自动聚焦、消像散 已配备 自动亮度、对比度 已配备 自动保护功能 带有过电流保护功能、漏电遮断器 计算机控制系统 操作系统 Microsoft Windows® 7 CPU Intel® CoreTM2 Duo P8700(或与其兼容的PC) 内存容量 2GB以上 接口与端子 USB2.0接口(2个)、网路接口(以太网) 观察 15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素 控制 鼠标、键盘 扫描速度 TV扫描 640×480象素显示，25帧/秒 快速扫描 全屏显示，6.3帧/秒 慢速扫描 全屏显示，1/4/20/40/80秒/帧 640×480像素显示，0.5/2/10/20/40秒/帧
图像数据存储 图像存储像素 640 × 480、1,280 × 960像素 图像数据保存 PC带硬盘及其他记录媒体 图像存储格式 BMP、TIFF、JPEG 图像信息 微标尺、微值、放大倍率、日期、时间、图像编号、注释、观察条件、观察模式、图像模式、工作距离 辅助功能 图像旋转、简单测量、三维动画维护指南 使用环境 室温 15°C ～30°C 相对湿度 40%～70% 电源 单相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座 地线 D类接地，电阻小于100Ω 体积与重量 主机 330(长)×606(宽)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)
330(长)×630(宽)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)隔膜泵 145(长)×256(宽)×217(高)mm、4.5Kg
