一、用途
SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
特点
1. 仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入＊大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统，洁净无污染。
二、技术规格
项目 内容 二次电子分辨率 3.0nm（高真空，30kV） 背散射电子分辨率 4.0nm(低真空：6Pa，30kV） 倍率 5～300,000X 加速電圧 0.3～30 kV 样品台 X 0～80 mm Y 0～40 mm； Z 5～50 mm； T -20°～ 90°； R 360° 样品台控制 手动（可选：2轴马达） ＊大载入样品尺寸 直径：153 mm ＊大观察范围 直径：126 mm（XYR并用） ＊大样品高度 60 mm（WD=15 mm） 低真空范围 6-270Pa(从菜单设定) 灯丝 预对中钨灯丝 物镜光阑 4孔可变光阑 枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 检测器 二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器 EDX分析位置 WD=15,TOA=35° 真空系统 分子泵1台，机械泵1台 安全措施 停电，漏电，自动保护
